스핀코터(spincoater)-마스크얼라이너(mask aligner)-파릴렌코터(parynecoater)

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 용도
■액정 등 디스플레이 관련
■CD*DVD 등 광디스크 관련
■반도체 관련

자세한 사양은
그림을 클릭해 주십시오

가능한 시료 크기
컵 지름

스핀 모터/
/회전수/
회전 방식

회전스텝수
전원

장비 치수/특징


JSI-402A

φ100 mm이하
(100 g이하)
φ200 mm*SUS

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

2스텝
1sec∼9999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
300w*300d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션
제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-603A

φ150 mm이하
(100 g이하)
φ250 mm*NPP

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼6000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

3스텝
1sec∼9999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
350w*450d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션
제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-803A

φ200 mm이하
(100 g이하)
φ300 mm*PTFE

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼6000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

3스텝
1sec∼9999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
400w*500d*320h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션
제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-402D

φ100 mm이하
(100 g이하)
φ200 mm*스텐레스

AC서보  모터
100-5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 

10스텝(디지탈 제어)
10 memories
1sec∼9999Sec
AC220V/2A
터치패널 입력방식

 

스핀코터 외형
300w*400d*270h(mm)
소형*탁상 타입
램프, 다운시간 설정 가능

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션


JSI-603D

φ150 mm이하
(100 g이하)
φ300 mm*스텐레스

AC서보  모터
100-5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 

10스텝(디지탈 제어)
10 memories
1sec∼9999Sec
AC220V/2A
터치패널 입력방식

 

스핀코터 외형
350w*450d*270h(mm)
소형*탁상 타입
램프, 다운시간 설정 가능

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션


NS－402

φ200 mm이하
( 각형 150*150)
φ400 mm*스텐레스

AC 서보 모터
250-5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 

25스텝(디지탈 제어)
1sec∼9999Sec
AC220V/5A

 


스핀코터 외형
490W x 490D x 450H
소형*탁상 타입
마이크로 프로세서 제어

vacuum chuck 1개,
로터리 진공펌프 기본 포함
디스펜서 옵션


NS－403C특별 사양

φ200 mm이하
φ400 mm*스텐레스

AC서보 모터
0∼5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 


터치판넬입력
10패턴 50스텝설정
기능
AC200V /2A

스핀코터 외형
φ200＆φ200 겸용

소형*탁상 타입

 


1H-D7

φ100 mm이하

미까사 Japan


300~8000 rpm

정밀도 : ±1%

 

 

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)
디지털 제어
AC100V

 

스핀코터 외형
260w*230h*330d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


1H-Dx2

φ150 mm이하

미까사 Japan

300~7000 rpm

정밀도 : ±1%

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)

디지털 제어

AC100V

스핀코터 외형
350w*270h*530d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

φ200 mm이하

미까사 Japan

300~5000 rpm

정밀도 : ±1%

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)

디지털 제어

AC100V

스핀코터 외형
510w*330h*610d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


SPIN150i

φ150 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

 

 

 

 

 

 

 

스핀코터 외형
274w*250h*451d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol
Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형

SPIN150i ind
키보드 분리형

φ150 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

스핀코터 외형
274w*250h*451d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol
Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형


MCD200

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

스핀코터 외형
380w*307h*559d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol
Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형

MCD200 ind
키보드 분리형

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

스핀코터 외형
380w*307h*559d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol
Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형
Spin Etcher, Spin Developer

ACD 200-300

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~10,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

99스텝 설정 가능
99memories

디지털 제어

AC200V

스핀코터 외형
330w*310h*630d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,Puddling

Solution 튀김 방지 설계

POLOS 450

POLOS 600

POLOS 1000

APT German

φ450mm

φ600mm

φ1000mm

    

대형 스핀코터

주문제작..
         

*옵션　시료대, 진공 펌프, 안전 커버, 센터 링 치구, 등
*제조 인 라인 장치, 유저 특별 사양도 제작 가능합니다.
*미까사 스핀코터 수리 전문

*스핀코터 척 제작 요청

Photoresist : SU8,PDMS,
................... AZ1512,AZ5214
................... TPR

    ■고성능 스핀 도포(Spin coating)기술을 기반으로 한 각 프로세스의 연구실 장비및 제조 장비를 수입 및 제조공급합니다

Hhigh quality spin coated layers 가 필요한 분야:
  • Photoresist for defining patterns in microcircuit fabrication.

  • Dielectric/insulating layers for microcircuit fabrication ? polymers, SOG, SiLK, etc.

  • Magnetic disk coatings - magnetic particle suspensions, head lubricants, etc.

  • Flat screen display coatings. - Antireflection coatings, conductive oxide, etc.

  • Compact Disks ? DVD, CD ROM, etc.

  • Television tube phosphor and antireflection coatings.

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                                                                         경기도 안양시 동안구 호계555-9
                                                                         안양 국제 유통스텝지 17동 127호
                                                                         Tel : (031) 479-4211/2, Fa* : (031) 479-4213
                                                                                           1992-2001 ,Jaesung ITS ,co.  All rights reserved                                                                                  

                                                             Contact us : jsi@jsits.com

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