스핀코터(spincoater)-마스크얼라이너(mask aligner)-파릴렌코터(parynecoater)

                                                       
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 용도
■액정 등 디스플레이 관련
■CD*DVD 등 광디스크 관련
■반도체 관련

자세한 사양은
그림을 클릭해 주십시오

가능한 시료 크기
컵 지름

스핀 모터/
/회전수/
회전 방식

회전스텝수
전원

장비 치수/특징


JSI-402A

φ100 mm이하
(100 g이하)
φ200 mm*SUS

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

2스텝
1sec∼9999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
300w*300d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-603A

φ150 mm이하
(100 g이하)
φ250 mm*NPP

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼6000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

3스텝
1sec∼9999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
350w*450d*270h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-803A

φ200 mm이하
(100 g이하)
φ300 mm*PTFE

 

 

스피드 콘트롤 모터
250∼6000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 디스플레이

 

 

3스텝
1sec∼9999Sec
AC220V/2A

 

 

스핀코터 외형
400w*500d*320h(mm)
소형*탁상 타입
유지보수용이

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션

제작 과정상 실제 사양은 그림과 다를수 있슴


JSI-402D

φ100 mm이하
(100 g이하)
φ200 mm*스텐레스

AC서보  모터
100-5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 

10스텝(디지탈 제어)
10 memories
1sec∼9999Sec
AC220V/2A
터치패널 입력방식

 

스핀코터 외형
300w*400d*270h(mm)
소형*탁상 타입
램프, 다운시간 설정 가능

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션


JSI-603D

φ150 mm이하
(100 g이하)
φ300 mm*스텐레스

AC서보  모터
100-5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 

10스텝(디지탈 제어)
10 memories
1sec∼9999Sec
AC220V/2A
터치패널 입력방식

 

스핀코터 외형
350w*450d*270h(mm)
소형*탁상 타입
램프, 다운시간 설정 가능

vacuum chuck 1개,
기본 포함
디스펜서 옵션


NS-402

φ200 mm이하
( 각형 150*150)
φ400 mm*스텐레스

AC 서보 모터
250-5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 

25스텝(디지탈 제어)
1sec∼9999Sec
AC220V/5A

 


스핀코터 외형
490W x 490D x 450H

소형*탁상 타입
마이크로 프로세서 제어


vacuum chuck 1개,
로터리 진공펌프 기본 포함
디스펜서 옵션


NS-403C특별 사양

φ200 mm이하
φ400 mm*스텐레스

AC서보 모터
0∼5000rpm
정밀도 : ±1%
디지털 방식

 


터치판넬입력
10패턴 50스텝설정
기능

AC200V
/2A

스핀코터 외형
φ200&
φ200 겸용

소형*탁상 타입

 


1H-D7

φ100 mm이하

미까사 Japan


300~8000 rpm

정밀도 : ±1%

 

 

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)
디지털 제어
AC100V

 

스핀코터 외형
260w*230h*330d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


1H-Dx2

φ150 mm이하

미까사 Japan

300~7000 rpm

정밀도 : ±1%

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)

디지털 제어

AC100V

스핀코터 외형
350w*270h*530d mm
소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

φ200 mm이하

미까사 Japan

300~5000 rpm

정밀도 : ±1%

100스텝 설정 가능
(rf: 3steps x 33)

디지털 제어

AC100V

스핀코터 외형
510w*330h*610d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


SPIN150
i

φ150 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

 

 

 

 

 

 

 

스핀코터 외형
274w*250h*451d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형


SPIN150
i ind
키보드 분리형

φ150 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

스핀코터 외형
274w*250h*451d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형



MCD200

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

스핀코터 외형
380w*307h*559d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형


MCD200 ind
키보드 분리형

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~12,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

디지털 제어

AC200V

 

 

program:unlimited programs
with max.unlimited step

스핀코터 외형
380w*307h*559d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)

Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,PuddlingSolution
튀김 방지 설계

글로브박스 설치용: 키보드 분리형

Spin Etcher, Spin Developer

ACD 200-300

φ200 mm이하

APT German

 

 

 

 

1~10,000 rpm

정밀도 : ±1RPM
디지털 서보모터

Digital Acceleration
/Deacceleration 30,000rpm/s

N2 Purge Port

 

 

99스텝 설정 가능
99memories

디지털 제어

AC200V

스핀코터 외형
330w*310h*630d mm

소형*탁상 타입

마이크로프로세서 회전 제어
(회전, 정지, slope 업, slope 다운)


Digital LCD Coontrol

Safety Door Lock

CW,CCW 회전 가능,Puddling

Solution 튀김 방지 설계

         

*옵션 시료대, 진공 펌프, 안전 커버, 센터 링 치구, 등
*제조 인 라인 장치, 유저 특별 사양도 제작 가능합니다.
*미까사 스핀코터 수리 전문

*스핀코터 척 제작 요청

Photoresist : SU8,PDMS,
................... AZ1512,AZ5214
................... TPR

    ■고성능 스핀 도포(Spin coating)기술을 기반으로 한 각 프로세스의 연구실 장비및 제조 장비를 수입 및 제조공급합니다

Hhigh quality spin coated layers 가 필요한 분야:
  • Photoresist for defining patterns in microcircuit fabrication.

  • Dielectric/insulating layers for microcircuit fabrication ? polymers, SOG, SiLK, etc.

  • Magnetic disk coatings - magnetic particle suspensions, head lubricants, etc.

  • Flat screen display coatings. - Antireflection coatings, conductive oxide, etc.

  • Compact Disks ? DVD, CD ROM, etc.

  • Television tube phosphor and antireflection coatings.

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                                                                         경기도 안양시 동안구 호계555-9
                                                                         안양 국제 유통스텝지 17동 127호
                                                                         Tel : (031) 479-4211/2, Fa* : (031) 479-4213

                                                                                           1992-2001 ,Jaesung ITS ,co.  All rights reserved                                                                                  

                                                             Contact us : jsi@jsits.com

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