스핀코터(Spincoater) 마스크얼라이너(Mask
Aligner) 파릴렌코터(Pparylene
Coater)
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Spin coater JSI-402D,603D시리즈 |
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기종 |
매뉴얼 스피너 |
매뉴얼 스핀코터 |
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품 명 |
JSI-402D |
JSI-603D |
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시료 사이즈 |
φ10∼100 mm dia 이하 |
10∼150 mm dia 이하 |
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(100 g이하) |
(100 g이하)
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컵 지름 재질 |
φ200 mm·스텐레스 |
φ300 mm·스텐레스 |
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본체 재질·치수 |
SS |
SS |
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300W*400D*270Hmm |
350W*450D*270Hmm |
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스핀 모터 |
AC서보모터 |
same |
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회전수 |
100∼5000rpm |
same |
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회전 표시 |
디지탈 표시 |
same |
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회전step |
10단(디지탈), 10 Recipe |
same |
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1 sec∼999sec |
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전원 |
AC220V |
same |
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CDA or N2 |
없음 |
없슴 |
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진공 |
200 Torr 이상 |
same |
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토출 노즐 |
1 계통 수동 스윙식 |
1 계통 수동 스윙식 |
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옵션 |
척기본 1개 |
척기본 1개 |
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안전 커버 |
안전 커버 |
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경기도
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안양
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Tel
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