JS-SMC1 Spin Mask Cleaner 스핀 마스크 클리너
 JS-SMC1
본 장비는 4인치6인치 또는 그이상의 포토 마스크의 세정및 클리닝 장비 입니다.
JS-SMC1는 브러시 스크러브와 메가소닉 공정을 활용하여 , 고압 스크러브/헹굼 노즐,
다기능 분사 및 세정 노즐을 포함하며 다수의 세척 모듈 장착 가능 합니다.
화학 세정, 린싱 및 스핀 건조 가 가능하고 프로그램을 통해 반복 작동 가능합니다.
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- 균일하고
높은 세정기능
- 편리한 작동방식
- 회전 PVA 브러시 암
- 스프레이 암
- 메가소닉 암
- 간단한
조작으로 작동 가능
- PLC 소프트웨어 제어
- 다양한 시료 및 마스크 적용
- 고객의 요구에다른 다양한 기능 제공 가능
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자동형, 반자동형 클린싱 가능 |
미 경
JS-SMC1 |
스핀 마스크 클리너(스핀 글래스 크리너)
-Body Covering: Press Ivory & 투명 PVC
-Plate Size(Max) :100mm X 100 mm glass ~, 사이즈별 주문 제작 가능
-PLC programming ,10 step ,20 memories
-Chamber size: 12 inch
-Substrate Load/Unload: Manual Process
-Brush Arm module:
SUS304 teflon coated, Teflon & PFA Tube
AC Servo Motor 구동: Arm Swing
세정제 Supply Line
D.I Rinsing 용 supply line
Brush Material: PVA, 원형 type
-Spin rotation speed: 100~2000rpm
-Spin Motor: AC Servo Motor System
-Run Time :1~999sec
-Controller: PLC & 10” Touch control panel, Programmable Controller
-1 Megasonic Cleaner
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세부 규격
1. Main body
1) Dimension (mm): 800x800x1700
2) Frame: SS41 Square pipe frame
3) Body Covering: Press Ivory & 투명 PVC
4) Pipe plumbing: PFA tube & C-PVC, PVC pipe, PP
5) Regulator: Air, N2
6) Drain line: Local line
7) Exhaust Line & Damper
8) Fan filter unit: HEPA filter
9) Controller: PLC & 10” Touch control panel, Programmable Controller
2. Spin Chamber Module
1) Spin Motor: AC Servo Motor System
2) Spin rotation speed: 100~2000rpm
3) Glass Size: 100x 100mm
4) Spin controller: Programmable controller
5) Spin state: 10 steps control Memory
6) Spin Recipe: 20 Recipes Memory
7) Acc/Deceleration rates: variable
8) Chamber size: 12 inch
9) Chamber Material: LDPP 5t
10) Substrate Load/Unload: Manual Process
11) Chuck Material: Teflon coated Al & PTFE block
12) Spin Chuck: 100x 100mm
13) Fan Filter Unit: ULPA Filter, 400x400x125, 1 ea.
14) Brush Arm module: SUS304 teflon coated, Teflon & PFA Tube
AC Servo Motor 구동: Arm Swing
세정제 Supply Line
D.I supply line
Brush Material: PVA, 원형 type
15) Drain: Ø100, 3 port, 배기 겸용
16) Liquid & Vapor separation exhaust tank assembly
3. Local Supply Module
1) 세정제 및 DI nozzle: swing 장착, SUS316 &PTFE
2) N2 nozzle: 상부 & 하부 고정식, SUS316 & PTFE
3) 세정제 Supply System
Chemical Bottle: 1Gallon (3.5L)
Supply: Pumping method
Level sensor
Flow Meter
4) Level Sensor Device Assembly
5) Process Heating system: PID temp control
6) Bottle Cabinet system
7) Bottle Sensor & Flexible Tube
4. megasonic module
1MHz ultrasonic nozzle , Generator
5. Utility
1) Power: 220VAC, 1상, 2Kw
2) N2: 1/4”, 3 kg/cm2 이상
3) DI: VP16A, 2 kg/cm2 이상
4) Air: 1/4”, 4 kg/cm2 이상
5) Drain: VP50A , VP25A
6) Exhaust: VP150A,VP100A
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