스핀코터(Spincoater) 마스크얼라이너(Mask Aligner) 파릴렌코터(Pparylene Coater)


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  • 콤팩트한 설계 및 고성능
  • 최대 100 스텝 입력 가능
  • SLOPE UP/ DOWN 임의 설정
  • ± 1RPM의 정밀도
  • 신뢰성이 높은 실회전 표시
  • 각기판에 유리한 정지 위치 설정 기능

형               명

                 IH-DX2

              1H0-360S

형               식

시      료      대

시 료   사 이 즈

최대 150 MMØ

최대 200 MMØ

회      전     수

300~7000RPM

300~5000RPM

회 전 수  표 시

디지탈

회전 시간 입력

0.15~999.9sec, 무부하시

회전 정지 시간

0.3 ~999.9sec, 무부하시

진공 스테이지 개폐압

360 mmHg 이상

Resolution

± 1RPM, 무부하시

시     퀀     스

키보드로 입력

1 시    퀀    스

최대 100 단, 최장시간 999.9 sec

보 울   사 이 즈

290 MMØ

360 MMØ

전               원

100V,  50/60 Hz 4A

100V,  50/60 Hz 5A

소   비   전   력

350W

500W

외               형

350Wx 270H x530D mm

510Wx 330H x610D mm

기               타

진공 라인과 진공 펌프는 별매입니다

 

                                           경기도 안양시 동안구 호계 555-9
                                           안양 국제 유통단지 17동 127호
                                          Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213

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