spincoater/스핀코터

스핀코터(Spincoater) 마스크얼라이너(Mask Aligner) 파릴렌코터(Pparylene Coater)

Spin coater NS－403 시리즈
기종	매뉴얼 스피너	매뉴얼 스핀코터
사양	NS－403	NS－403C
시료 사이즈	φ10∼200 mm이하	same
컵 지름 재질	φ400 mm·스텐레스	same
본체 재질·치수	SS＋소부도장	SS＋소부도장
스핀 모터	AC 서보모터	same
회전수	0∼5000rpm	same
	(볼륨 설정±1 rpm)
회전 표시	디지탈 표시	same
회전단수	10 패턴 50 스텝	same
	스핀 프로그램 방식
전원	AC200V	same
CDA or N2	없음	0.2 Mpa 이상
진공	200 Torr 이상	same
토출 노즐	없음	1 계통 자동 스윙식
옵션	시료대	시료대
	진공 펌프	진공 펌프
	안전 커버	안전 커버
	타	센터 링 치구
		타

                                          경기도 안양시 동안구 호계 555-9
                                           안양 국제 유통단지 17동 127호
                                          Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213
                                                    1992-2001 ,Jsi.co. All rights reserved

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