JS-MAS1 MaskAligner 고해상도, 고성능 마스크 얼라이너              균일하고 높은 조사분포 고 해상도 노광(1micron 급) 노광용 전원 내장 간단한 조작으로 전후, 상하제어 LCD모니터 채용하여 빠르고 확실한 얼라인먼트 다양한 시료 및 마스크 적용 경량, 콤팩트이므로 이동 용이 반자동형 얼라인먼트 가능(옵션) 모델 명 JS-MAS1 노광면적 ø 100mm ,dia. 125mm ,dia. 200mm : (큰 사이즈 제작 : 협의요망) 노광 방식 단면(옵션:양면 가능) Resolution 1 micron 마스크사이즈 최대 5인치 125mm x125mm, 6인치 150mmx 150mm,9인치(235mmx 235mm) 시료대 진공흡착 고정식 Glass Mask (필름마스크도 가능) 시료 두께 최대 2mm 매니퓨레이터 이동범위 X,Y: ±12 mm, 미동 1/8mm 1회전, Z: 12mm ,미동 0.2 mm, θ: ±7도 collimate half angle 1.° 이내 현미경,램프하우스 개별 회전 이동 식(수동) 노광용 타이머 0~999초 디지털 방식 치수 WxDxH/중량 :1,000mm*800mm*1450mm, 약 120 Kg,형태나 치수는 변동 가능 램프 냉각팬 램프 냉각 팬용 ON/OFF 지연 타이머 전원 *AC 220V 50/60 Hz, 11A 현미경 200~500배줌 모니터링방식 모니터 및 CCD카메라 베큠펌프 진공 로터리 펌프 포함 조  명 100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사 진  공 0.5~0.8 Kg/CM2 마스크 홀더 진공흡착 고정식 마스크 글래스 진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가) 마스크 사이즈 최대  5 인치X 5 인치 시  료  대 진공흡착 고정식 시  료 진공흡착 고정식 시료  사이즈 최대 4 인치Ø   1)세부 규격 - Manual alignment and Exposure system - Manual Load and Unload - motor drive Alignment Mode (옵션) - Beam size :5"diameter - Wafer Stage : X,Y,Z and theta Axis - Tilted wafer stage - Mask size : up to 5" x 5" - 300w 초고압 수은등 or LED 램프 - air cooling unit for lamp -Double CCD zoom microscope and 21" LCD Monitor - Oil-less Vacuum Pump 2) System Specification ① Light Source Module -300W 초고압 수은등or LED 램프 & Power supply - Wavelength : NUV - 365nm Max. Intensity : > 20 mw/cm2 - Max. Beam Size :5"diameter - Beam Uniformity :5 % 이하 ②DualCCD Microscope Module - manual moving stage : X, Y, Z Axis and tilt stage - Moving Distance - 500X magnification - Objective separation : 60 mm - Y-Axis: 10mm - 21" LCD Monitor - Dual optic coaxial illumination ③ Stage Module - Stage Moving Distance - X, Y Axis : 5 mm - Z Axis : 25 mm - Theta Axis: 4 degree - Stage Resolution - X, Y Stage Resolution: 1㎛ - Theta : 0.1 degree - Z Axis : 10㎛ - Align accuracy : <± 1~2 um - tilt stage ⑤ Resolution - Vacuum Contact : 1 um ( photoresist 1um@Si Wafer ) ⑥ Utility - Dimension(mm) : 1,000mm*800mm*1450mm[W*D*H] - Electric Power : 220V,5Amp, 50/60Hz, 1 Phase - N2 : More than 1kg/cm2 , Flow rate 5 Liter/min - Out side diameter 6 mm Tube - Air : More than 1kg/cm2 - Flow rate 10 Liter/min - Out side diameter 6 mm Tube - Vacuum: =600mmHg, ( Vacuum pump included ) - Exhaust: Lamp House Cooling - Flow rate 10 Liter/min - Weight : Equipment : 120 kg - 협의에 따라 사양은 변경 가능 용도 :MEMS ,LithoGraphy.. 납품처 :인하대, 가천대, 시립대, NST,경남대 외 다수업체