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 전도성 필름및 웨이퍼
...................표면저항측정
경량 휴대용
9V 배터리
작동
127
포인트 데이터 저장 능력
RS-232
interface를 이용한 데이터 전송
4 가지 모델
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Guardian232-10 - 0.00 to 10.0 ohms/square.
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Guardian232-100 - 0.00 to 95.00 ohms/square.
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Guardian232-1000 - 0.00 to 1000.0 ohms/square.
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Guardian232-2000 - 0.00 to 2000.0 ohms/square.
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5 가지의 프로브 유닛을 이용한 저항 테스트 유닛과 함께 사용합니다
Resistivity Test Unit (Electronics)
유닛 내부에 전류원과 측정기가 내장되어 있습니다. 1~106 Ohms-per-square
까지 측정합니다
Multiposition
4 Point Probe
1mm 간격으로 8" 웨이퍼 상에서 1~9 포인트를 지정하여 측정합니다,
Multi-Height
4 Point Probe
프로브의 높이를 자동 조정하여 대형 기판이나 인고트등을 측정합니다.
일반
소형 샘플의 측정에 적당하다. 3" dia.의 웨이퍼 및 기판에 사용합니다.
3"
웨이퍼 및 기판형의 다목적용 프로브입니다.
수동 위치
4 Point Probe
수동으로 프로브를 위치 시키며 대형 평판, 인고트등에 적용합니다.
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고정밀 & 고해상도 4-1/2
digit LCD display
Test- lead with
a BNC-connector 포함
1mili ohm
이하 극소 표면저항 측정용
6" 웨이퍼 까지 측정가능
고정확성을 요구하는 전도성 시료의
표면저항 측정 가능
유닛 내부에 전류원과 측정기가
내장되어 있습니다.
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Prometrix 와 CDE Probes
Prometrix, KLA/Tencor, CDE system. , 모든 종류의
프로브
close space probes (20 mil
spacing).
특수 Four Point Probe Head
High/Low Temperature 4 Pt Probes
Vacuum Chamber 4 Pt Probes
Square Array (Hall) 4 Pt Probes
5 Point
Probes
Close Needle Spacing Probes
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자동 스텝핑
Cassette-to-Cassette 도 가능
Windows Software
고 신뢰성
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고정밀 & 고해상도 4-1/2
digit LCD display
고 정밀 고 정확성
표면저항 측정용
6" 웨이퍼 까지 측정가능
고정확성을 요구하는 시료의 표면저항
측정 가능
유닛 내부에 전류원과 측정기가
내장되어 있습니다.
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신속정확하게 P,
N 타입 판정
고신뢰성을 위한 마이크로프로세서
콘트롤
0.1초내에 같은
포인트를 4번 측정
N, P, Error
표시
저가격의 교환 핀
높은 생산성
0.01 ohm 단위
측정
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Manual 타입 Four Point Probe
Computer Controlled Data Acquisition
Windows Software
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