4-Point-Probes


 

표면저항 및 저항치, 두께의 계산 방법( 반도체에 대한 응용)

Four point probe(훠 포인트 프로브)는  안쪽 두점사이의 전압과 바깥쪽 두점사이의 전류를 측정하여 박막(thin layer) 및 뉘트(sheet)의 저항치를 측정하는 계측기이다.

 프로브 포인트의 간격이 일정하면, 전도성 필름의 두께는 간격의 40%이며, 필름 에지는 측정 포인트 간격의 4배이고 평균 저항치, 표면 저항치는 다음 공식으로 주어진다.

 

Rs = 4.53 x V/I

필름 두께와(in cm)  저항치느 Rs에 대해서 다음과 같이 나타낸다.

Rs = resistivity/thickness

그래서 필림의 두께를 알면 저항치를 계산할 수 있고, 저항치를 알면 필름의 두께를 계산할 수 있다.

용어 해설

Ohms per square: 표면저항 측정 단위. 이론 면적의 마주한 두 전극 사이의 저항치와 같다. 측정 면적은 중요하지 않다.

Resistance: unit of measurement for the ratio of applied voltage to the current passing through a material.

Surface resistivity: ohms per square로 나타내는 표면 전류(amp/meter)에 대한 DC 전압(volt/meter)의 비율이다.

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