Superior 300 mm 웨이퍼 박막 저항측정 맵핑 시스템

Superior 300 mm 공정개발 저항측정 시스템은 100~300mm 웨이퍼 필름을 측정합니다. 시스템은 4-포인트 프로브와 DVM을 조합하여 제작되었으며, 1 미리 오옴에서 10메가오옴/ㅁ 의 범위 내에서 1%이하의 오차범위를 갖습니다. 정확도와 조정은 NIST로 하며 시스템은 윈도우 7,10에서 동작합니다. 한번의 클릭으로 한점 또는 자동측정, 2,3 차원 웨이퍼 맵핑을 할수 있습니다. 시스템의 설치는 9, 25, 49, 121 테스트 포인트를 설정할수 있으며, 웨이퍼 사이즈는 100 mm, 125 mm, 150 mm, 200 mm, 300mm에 적용할 수 있다. 실시간 전류 테스트 포인트의 디스플레이와 측정결과가 가능하다.어느 테스트의 위치가 의심스러우면 결과를 리셋하고 재측정하면 된다. 결과는 ASCII 파일로 저장하며 LAN을 통하여 호스트 컴퓨터에 전달한다.. 다른 옵션은 온도 콘트롤 기능의추가 및 Temperature Coefficient of Resistance (TCR) 의 측정 이다. 자동화를 위해 웨이퍼 핸들러를 추가할수 있다.

간편한 조작
소프트웨어 및 하드웨어의 유영성
LAN에 의한 데이터 전송
Temperature Control ; 0~+125°C
9, 25, 49 & 121 Data Point Options, 2D & 3D 플롯
Temperature Coefficient of Resistance 의 측정
상온, 상압에서+400°C까지 온도 콘트롤 옵션

메뉴:

웨이퍼 사이즈 선텍
측정 포인트 수 선택
Edge Exclusion 선택
Re-Test Point 옵션
결과 및 2D 또는 3D Map 저장
트렌드 분석을 위한 데이터 저장
호스트로의 결과 전송
옵션 - 온도 세팅 및 확인
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사양:

샘플 사이즈: 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, & 300mm
표준 저항 범위: 1 Milli-ohm ~10Meg ohms/ㅁ
테스트 공정: Dual Configuration & Integration
정확도: 오차범위 1% 이하
조절: NIST
출력: 2D 칼라 맵, 3D 콘투어 맵, 다이아메타 플롯
자동 디스플레이: 평균치 및 표준 편차

옵션:

필름 두께 및 저항치의 플롯, 계산
호스트 시스템으로의 아스키 파일 전송을 위한 LAN
Temperature Coefficient of Resistance (TCR) 측정을 위한 온도 콘트롤
오토 웨이퍼 핸들링 시스템

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