wpe5.gif (9006 bytes)                                                                                                                       HOME

¾×»ó ¿¡Ä¡ ·¹Áö½ºÆ®(Liquid etch resists) .

µö ÄÚÆÃ(Dip-Coating)

DiaEtch 100

½ºÇÁ·¹ÀÌ ÄÚÆÃ(Spray-Coating)

DiaEtch 110

·Ñ·¯ ÄÚÆÃ(Roller-Coating)

DiaEtch 120

½ºÇÉ ÄÚÆÃ(Spin-Coating)

DiaEtch 130

À§ÀÇ ¼Öº¥Æ®¸¦ ±âÃÊ·ÎÇÑ Æ÷ÅäÀ̹ÌÁö¿ë ·¹Áö½ºÆ®´Â ³×°ÅƼºê(negative) ¾×»ó ·¹Áö½ºÆ®ÀÔ´Ï´Ù.  UV¿¡ ´ëÇؼ­ ´ë´ÜÈ÷ ¹Î°¨Çϸç ƯÈ÷ 350~420nmÀÇ ¹üÀ§¿¡¼­ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. Çʸ§ µÎ²²¿¡ µû¶ó¼­ Çö»ó Á¶ÀÌ º¯Çϸç ÈÄ°øÁ¤¿¡ µû¶ó¼­ ´Ù¾çÇÑ ±Ý¼Ó ¹× Çձݿ¡ ¿ì¼öÇÑ Á¢Âø¼ºÀ» º¸¿©ÁÖ¸ç, »ê¿¡¼­ÀÇ ¿¡Äª¿¡ °­ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ»óÀÇ Á¦Ç°Àº ¾ÆÅ©¸±·¹ÀÌÆ®¸¦ ±âÃÊ·Î ÇÏ¿´À¸¸ç Äܺ£¾îÈ­µÈ Çö»ó-¿¡Ä¡-¹Ú¸® Àåºñ¿¡¼­ ¿ì¼öÇÑ Æ¯¼ºÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù.

 

µö ÄÚÆÃ(Dip-Coating)

DiaEtch 200 (experimental)

ÀÌ ¼ö¿ë¼º ·¹Áö½ºÆ®´Â Àß ¾Ë·ÁÁø Ä«¼¼ÀÎÀÌ ÁÖ ¿ø·áÀÔ´Ï´Ù. °¨±¤ Ä«¼¼ÀÎ ·¹Áö½ºÆ®´Â ¿À·¡ÀüºÎÅÍ »ç¿äµÇ¾îÁ® ¿ÔÀ¸¸ç ƯÈ÷ ±Ý¼ÓÇ¥¸é °¡°ø¿¡ ¿ì¼öÇÑ ¼ºÁúÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù.  ±×·¯³ª Å©·ÒÀ» ÇÔÀ¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ÀÌ·¯ÇÑ ·¹Áö½ºÆ®´Â ºñ½Ñ °¡°Ý°ú Á߱ݼÓÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ºÎ»ê¹° ¶§¹®¿¡ ´ë·®À¸·Î »ç¿ëÇÒ¼ö ¾ø¾ú½À´Ï´Ù.  HTP AG ´Â ÇöÀç Å©·Ò ·¹Áö½ºÆ®¸¦ ´ë½ÅÇÒ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ °³¹ßÇÏ¿´½À´Ï´Ù.

 

·Ñ·¯ ÄÚÆÃ(Roller-Coating)

DiaEtch 520 (experimental)

Áö±Ý ½ÃÇèÁßÀÎ ÀÌ Á¦Ç°Àº Æ÷ÁöƼºê ·¹Áö½ºÆ®·Î¼­ °ÇÁ¶ÈÄ ¸Å¿ì ¿ì¼öÇÑ Ç¥¸é »óŸ¦ ³ªÅ¸³»¸ç ÇϵåÄÁÅà ÇÁ¸°Æÿ¡ ¿ì¼öÇÏ°Ô Àû¿ëÇÒ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÄÚÆÃÀ» ÇÑ ÆгÎÀº ¿ì¼öÇÑ Ç¥¸éƯ¼º ¶§¹®¿¡ ¿¡Äª°øÁ¤Àü ¿©·¯³¯À» ÀûÀçÇÏ¿©µµ Ư¼ºÀÇ º¯ÇÔÀÌ ¾ø½À´Ï´Ù.