본 제품은 롤라 코팅에 최적입니다. 적용되는 레지스트의 두께에 따라서 고무롤러를 선택합니다. 48 메쉬의 롤을 9~11 마이크론의 두께에 사용합니다(적당한 스피드와 압력에서).T
Proper쇼 |
Value |
Unit |
Method |
|---|---|---|---|
색상(unexposed) |
암청색 |
n.a. |
visual |
색상(exposed) |
청색 |
n.a. |
visual |
점도@ 20°C |
180 |
sec |
DIN Cup No.4 |
점도@ 20°C |
850 |
mPas |
Brookfield #3 @ 50 rpm |
밀도(liquid) |
1.05 |
g/cm³ |
gravimetric |
밀도(solid) |
1.25 |
g/cm³ |
gravimetric |
고형 성분 |
40 |
%wt |
gravimetric |
광감성(Photosensitivity) |
4 - 5 |
Stouffer SSG21 |
see processing |
표면 |
hard- contact exposure |
n.a.
|
exposure in vacuum frame |
공 정
Process step |
공 정 조 건 |
|---|---|
적 용 |
Roller-coating with 32 to 64 mesh rubber-roller |
Flash-off |
~1 min at room temperature |
Drying |
5 - 10 min @ 80°C in convection oven |
노광(Exposure) |
100 - 200 mJ/cm² (300 - 350 nm) |
현상(Developing) |
1% aqueous sodium carbonate; 35°C; 30 - 60 sec |
에칭(Etching) |
suitable for acidic media (ferric chloride, cupric chloride); limited stability in alkaline etchants (aqueous ammonia) |
박리(Stripping) |
2 - 5% potassium hydroxide at 50-90°C |
|
SYSTRONIC Roller-Coating/Drying line 프리 클리닝 공정에서 패널은 좌후방에서 투입됩니다. 패널은 한쪽으로 밀리면서 코팅 장치쪽으로 진행합니다. 코터는 헤파필터를 장치한 클린룸 캐비넷 내부에 위치하고 있습니다. 양면 코팅된 패널은 그립 체인으로 들어올려서 간단한 플래쉬 오프와 오븐으로 향합니다. 라미나 에어 플로우는 외부에서 코팅부로 흐릅니다. 여기에서 포토레지스트는 적외선 램프로 가열되어지며 건조 됩니다. 라인의 마지막에서 패널은 상온에서 냉각되며 다음 공정의 투입을 기다립니다. |
