mask aligner/마스크얼라이너/

균일하고 높은 조사분포
디지털 마이크로메타에 의한 Z축 제어(소프트 콘택 가능)
간단한 조작으로 전후, 상하제어
이시야 현미경을 채용하여 빠르고 확실한 얼라인먼트
다양한 시료 및 마스크 적용

미 경

모델 명	MA-20
현 미 경	쌍대물 쌍안 현미경 7형, 광축거리 약 18~16MM
조 명	100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사
램프 하우스	8 면체 미러식, 셔터내장, 낸각 팬 덕트 방식
노 광 광 원	초고압 수은등 500W (250W 사용가)
노광용 타이머	0~999.9초 디지털 세트 방식 및 적산 광량계 세트
공 압	현미경 및 마스크 홀더 구동용 5Kg/CM2
진 공	0.5~0.8 Kg/CM2
마스크 홀더	에어 실린더로 전후 이동
마스크 글래스	진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가)
마스크 사이즈	최대 5 인치X 5 인치
시 료 대	진공흡착 고정식
시 료	진공흡착 고정식
시료 사이즈	최대 4 인치Ø
시 료 두 께	최대 2MM
매니퓨레이터 이동범위	X,Y: ±5 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 3MM ,미동 0.2 MM, θ: ±7도
+자동 스테이지 이동 범위	± 20MM
Z축 이동 센서	디지털 카운터에 의해 최대 3MM, 최소 1 ㎛
Z축 에어 구동	0~9MM
전 원	AC 100V 50/60 Hz, 20A
DIMENSION	760W X 640H X 800D MM
수은등 점등 장치	내장
중 량(본체)	200 Kg

UV lightsource system (Fine Resolution용 UV 노광기) :준 평행광 노광기
:10 micron급 미세패턴 제작용

Model JPUV-200, JPUV-300
구성 : Parallel UV-light 소스 ,마스크홀더, UV source controller

* 본 UV Ecposure unit는 미세패턴용(10 micron Resolution) 노광기 로서 반도체 공정이나 Fine Resolution PCB 제작용입니다,

Spec & Detail
	JPUV-200	JPUV-300
Effective exposure area	205x205 mm	305x305 mm
Exposure type	Single side Exposure
Exposure Time control	Light integrator Method
Light source	3Kw 초고압수은등
Optical mirror type	flat-mirror Type
Lamp life time	1100 hr
U.V. intensity	15㎽/㎠	12㎽/㎠
Uniformity	92%
Resolution	10~um
Wave length	365~405 nm
Half angle coliimasion	less than 1.5˚
Declination angle	less than 1.5˚
UV exposing type	light integrating system
Cooling type	air cooling
Mask Holder	Vacuum Or Mechanical Type
Alignment	Not Included (Optional)

Dimension,wxdxh mm	550x1050x1550	750x1550x2050

Mask Aligner(마스크얼라이너,평행광 노광기)

Mask Aligner(마스크얼라이너),평행광 노광기,모델 JSM-4S

*노광원 :초고압 수은등또는 LED(365nm,405nm),
*단면 노광
*Resolution : 1micron
*노광 면적 : ø 100mm ,dia. 125mm ,dia. 200mm
*마스크사이즈: 최대 5인치 125mm x125mm, 6인치 150 x 150mm,9인치(235mmx 235mm)
*시료대:진공흡착 고정식 Glass Mask (필름마스크도 가능)
*시료 두께:최대 2MM
*매니퓨레이터 이동범위:
X,Y: ±12 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 12MM ,미동 0.2 MM θ: ±7도
* collimate half angle 1.° 이내
*현미경,램프하우스 : 개별 회전 이동 식(수동)
*노광용 타이머: 0~999초 디지털 방식
*램프 냉각 팬용 ON/OFF 지연 타이머 :
*치수 :WxDxH/중량 : 850X650X900mm, 약 80 Kg,
*AC 220V 50/60 Hz, 11A
*현미경 ★현미경: 200~500배줌
*모니터 및 CCD카메라
*진공 로터리 펌프 포함

경기도 안양시 동안구 호계동 555-9
안양 국제 유통단지 17동 127호

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