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모델 :MA-10
모델 :KT-400

  • 균일하고 높은 조사분포
  • 디지털 마이크로메타에 의한 Z축 제어(소프트 콘택 가능)
  • 간단한 조작으로 전후, 상하제어
  • 이시야 현미경을 채용하여 빠르고 확실한 얼라인먼트
  • 다양한 시료 및 마스크 적용

미    경

모델 명
MA-20

현    미    경

쌍대물 쌍안 현미경 7형, 광축거리 약 18~16MM

조           명

100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사

램프 하우스

8 면체 미러식, 셔터내장, 낸각 팬 덕트 방식

노 광  광 원

초고압 수은등 500W (250W 사용가)

노광용 타이머

0~999.9초 디지털 세트 방식 및 적산 광량계 세트

공           압

현미경 및 마스크 홀더 구동용 5Kg/CM2

진           공

0.5~0.8 Kg/CM2

마스크 홀더

에어 실린더로 전후 이동

마스크 글래스

진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가)

마스크 사이즈

최대  5 인치X 5 인치

시    료    대

진공흡착 고정식

시           료

진공흡착 고정식

시료  사이즈

최대 4 인치Ø

시 료   두 께

최대 2MM

매니퓨레이터 이동범위

X,Y: ±5 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 3MM  ,미동 0.2 MM, θ: ±7도

+자동 스테이지 이동 범위

± 20MM

Z축 이동 센서

디지털 카운터에 의해 최대 3MM, 최소 1 ㎛

Z축 에어 구동

0~9MM

전            원

AC 100V 50/60 Hz, 20A

DIMENSION

760W  X 640H X 800D   MM

수은등 점등 장치

내장

중            량(본체)

200 Kg

 

 UV lightsource system (Fine Resolution용 UV 노광기) :준 평행광 노광기
 :10 micron급 미세패턴 제작용
    

Model JPUV-200, JPUV-300

 

                        
구성 : Parallel UV-light 소스 ,마스크홀더, UV source controller

 * 본 UV Ecposure unit는 미세패턴용(10 micron Resolution) 노광기 로서 반도체 공정이나 Fine Resolution PCB 제작용입니다,

Spec & Detail

 

JPUV-200

JPUV-300

Effective exposure area

205x205 mm

305x305 mm

Exposure type

Single side Exposure

Exposure Time control
Light integrator Method
Light source

3Kw 초고압수은등

Optical mirror type

flat-mirror Type

Lamp life time

1100 hr

U.V. intensity

15㎽/㎠

12㎽/㎠

Uniformity

92%

Resolution

10~um

Wave length

365~405 nm

Half angle coliimasion

less than 1.5˚

Declination angle

less than 1.5˚

UV exposing type

light integrating system

Cooling type

air cooling

Mask Holder

Vacuum Or Mechanical Type

Alignment
Not Included (Optional)
   
Dimension,wxdxh mm
550x1050x1550
750x1550x2050

 

 

 

 

 

 

 

Mask Aligner(마스크얼라이너,평행광 노광기)

 

  

 

Mask Aligner(마스크얼라이너),평행광 노광기,모델 JSM-4S

*노광원 :초고압 수은등또는 LED(365nm,405nm),
*단면 노광
*Resolution : 1micron
*노광 면적 : ø 100mm ,dia. 125mm ,dia. 200mm 
*마스크사이즈: 최대 5인치 125mm x125mm, 6인치 150 x 150mm,9인치(235mmx 235mm)
*시료대:진공흡착 고정식 Glass Mask (필름마스크도 가능)
*시료 두께:최대 2MM

*매니퓨레이터 이동범위: 
   X,Y: ±12 MM, 미동 1/8MM 1회전, Z: 12MM  ,미동 0.2 MM  θ: ±7도
* collimate half angle 1.° 이내
*현미경,램프하우스 : 개별 회전 이동 식(수동)
*노광용 타이머: 0~999초 디지털 방식
*램프 냉각 팬용 ON/OFF 지연 타이머 :
*치수 :WxDxH/중량 : 850X650X900mm, 약 80 Kg,
*AC 220V 50/60 Hz, 11A
*현미경 ★현미경: 200~500배줌
*모니터 및 CCD카메라
*진공 로터리 펌프 포함

 

 

 

 

 

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