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Universal-Probe(유니버셜
프로브)
- 웨이퍼의 저항치 측정
- 에피텍셜, 디퓨즈 레이어의 저항 측정(여기에서
밑의 층은 반대 극성이거나 절연층이어야 합니다)
- 3-Point Spreading
resistance 측정
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사양- 프로브
니들 |
Material |
0.5mm diameter tungsten
carbide, 길이 26mm 45 도, 25 micron 팁 반경( micron까지
가능) |
간격 |
1.00mm, 1.27mm, 1.59mm
- tolerance +/- 0.01mm |
동작거리 |
4mm |
절연 저항 |
2 x 105 megOhms at 500 volts |
허용 하중 |
0-100 gram |
시료 |
슬라이스 형태, 76mm 직경까지
가능 |
마운트 테이블 |
Ball bearing co-ordinate
table with 0-25mm x 0.01mm micrometer screws (others
available to order) , 14mm 높이의 진공 어댑터 |
외형 |
480mm x 320mm x 320mm
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장비무게 |
7 Kg |
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