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                 PETS Inc. Sputtering System (Sputter Up Configuration).

Sputtering Systems은 보통 기판위에 전도성 메탈을 증착시키는데에 사용합니다.. PETS Inc의 파워 소스는 마그네트론이며, 모든 시스템에 D.C. Power Supply를 사용합니다

Key Benefits

컴퓨터 제어를 통해 작동시마다 항상 동일한 process parameter 를 보증합니다.

모든 자동 런에 대해서 Data logging 합니다..

무제한의 런 프로그램 저장(.rcp files).

챔버는 산화피막 알미늄이나 스텐레스 스틸중에서 선택할수 있습니다

1세트의 챔버 라이너는 기본포함됩니다.

수냉식 magnetron source와 platen  및 chamber.

N2 purge(선택 사양)

Dynamic sputtering시 + - 8% uniformity 와 + - 12% static. 보증됨

공정 setup 지원가능

.시스템은 connecting fitting이부착된 mechanical pump (14 cfm)와 터보펌프(콘트롤러 포함)가 기본포함됩니다

 

500 WattD.C. power supply (1000 Watts는 선택사양입니다).

선택 사양: Down Stream Pressure Control, Turbo Pumping, Cryo Pumping, Oil Filtration, additional source, etching station and additional AFC's

Description

MODEL #       

16" Al. Chamber, w/2 AFC's, 2 sources (3")

PETS-SPUT-A16-2       

16" SS Chamber, w/2 AFC's, 2 sources (3")

PETS-SPUT-SS16-2    

20" Al. Chamber, w/2 AFC's , 2 sources (4")

PETS-SPUT-A20-2       

20" SS Chamber, w/2 AFC's , 2 sources (4")

PETS-SPUT-SS20-2    

24" Al. Chamber, w/2 AFC's, 2 sources (6")

PETS-SPUT-A24-2       

24" SS Chamber, w/2 AFC's, 2 sources (6")

PETS-SPUT-SS24-2    

JSiTS Inc.

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