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PETS Inc. Sputtering System (Sputter Up Configuration).
Sputtering Systems은
보통 기판위에 전도성 메탈을 증착시키는데에 사용합니다.. PETS Inc의 파워 소스는 마그네트론이며, 모든 시스템에 D.C.
Power Supply를 사용합니다
Key Benefits
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컴퓨터 제어를 통해 작동시마다 항상 동일한 process parameter
를 보증합니다.
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모든 자동 런에 대해서 Data logging 합니다..
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무제한의 런 프로그램
저장(.rcp files).
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챔버는 산화피막 알미늄이나 스텐레스 스틸중에서 선택할수 있습니다
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1세트의 챔버 라이너는 기본포함됩니다.
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수냉식 magnetron source와 platen 및
chamber.
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N2 purge(선택 사양)
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Dynamic sputtering시 + - 8% uniformity
와 + - 12% static. 보증됨
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공정 setup 지원가능
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.시스템은 connecting fitting이부착된 mechanical
pump (14 cfm)와 터보펌프(콘트롤러 포함)가 기본포함됩니다
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500 WattD.C. power supply (1000 Watts는
선택사양입니다).
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선택 사양: Down Stream Pressure Control,
Turbo Pumping, Cryo Pumping, Oil Filtration, additional source,
etching station and additional AFC's
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Description |
MODEL # |
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16" Al. Chamber,
w/2 AFC's, 2 sources (3") |
PETS-SPUT-A16-2 |
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16" SS Chamber,
w/2 AFC's, 2 sources (3") |
PETS-SPUT-SS16-2 |
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20" Al. Chamber,
w/2 AFC's , 2 sources (4") |
PETS-SPUT-A20-2 |
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20" SS Chamber,
w/2 AFC's , 2 sources (4") |
PETS-SPUT-SS20-2 |
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24" Al. Chamber,
w/2 AFC's, 2 sources (6") |
PETS-SPUT-A24-2 |
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24" SS Chamber,
w/2 AFC's, 2 sources (6") |
PETS-SPUT-SS24-2 |
JSiTS Inc.
Tel)031-479-4211~2
Fax)031-479-4213
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E-mail;
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