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PETS Inc. Plasma Etching
System Chamber/Electrode
플라즈마 에칭 시스템은
보통 크리닝, 디스컴등에 사용을 하며, 여러종류의 필름(전도성, 유전성)을 에칭합니다.
Key Benefits
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컴퓨터 제어를 통해 작동시마다 항상 동일한 process parameter
를 보증합니다.
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모든 자동 런에 대해서 Data logging 합니다.
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무제한의 런 프로그램 저장(.rcp files).
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챔버는 산화피막 알미늄이나 스텐레스 스틸중에서 선택할수 있습니다
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수냉식 전극, 챔버, 베이스 플레이트
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N2 purge(선택 사양).
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+ - 5% uniformity 보증
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공정 setup 지원가능.
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시스템은 connecting fitting이 달린 mechanical
pump (14 cfm)가 기본포함됩니다
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high frequency (13.56 MHz) or low
frequency(40 KHz) power supply를 선택할수 있습니다..
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선택사양: Down Stream Pressure
Control, Turbo Pumping, Scrubber, Oil Filtration and Floor Model
Cabinets.
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Description
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MODEL #
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12" Al. Chamber, w/2 AFC's ,
Low Freq. RF
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PETS-PE-A12-2-LF
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12" Al. Chamber, w/4 AFC's ,
Low Freq. RF
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PETS-PE-A12-4-LF
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12" SS Chamber, w/2 AFC's, Low
Freq. RF
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PETS-PE-SS12-2-LF
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12" SS Chamber, w/4 AFC's , Low
Freq. RF
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PETS-PE-SS12-4-LF
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16" Al. Chamber, w/2 AFC's ,
Low Freq. RF
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PETS-PE-A16-2-LF
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16" Al. Chamber, w/4 AFC's, Low
Freq. RF
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PETS-PE-A16-4-LF
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16" SS Chamber, w/2 AFC's, Low
Freq. RF
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PETS-PE-SS16-2-LF
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16" SS Chamber, w/4 AFC's, Low
Freq. RF
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PETS-PE-SS16-4-LF
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12" Al. Chamber, w/2 AFC's ,
High Freq. RF
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PETS-PE-A12-2-HF
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12" Al. Chamber, w/4 AFC's ,
High Freq. RF
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PETS-PE-A12-4-HF
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12" SS Chamber, w/2 AFC's, High
Freq. RF
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PETS-PE-SS12-2-HF
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12" SS Chamber, w/4 AFC's , High
Freq. RF
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PETS-PE-SS12-4-HF
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16" Al. Chamber, w/2 AFC's ,
High Freq. RF
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PETS-PE-A16-2-HF
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16" Al. Chamber, w/4 AFC's, High
Freq. RF
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PETS-PE-A16-4-HF
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16" SS Chamber, w/2 AFC's, High
Freq. RF
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PETS-PE-SS16-2-HF
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16" SS Chamber, w/4 AFC's, High
Freq. RF
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PETS-PE-SS16-4-HF
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