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  Plasma Etching System Chamber/Electrode

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PETS Inc. Plasma Etching System Chamber/Electrode

플라즈마 에칭 시스템은 보통 크리닝, 디스컴등에 사용을 하며, 여러종류의 필름(전도성, 유전성)을 에칭합니다.

Key Benefits

 

컴퓨터 제어를 통해 작동시마다 항상 동일한 process parameter 를 보증합니다.

모든 자동 런에 대해서 Data logging 합니다.

무제한의 런 프로그램 저장(.rcp files).

챔버는 산화피막 알미늄이나 스텐레스 스틸중에서 선택할수 있습니다

수냉식 전극, 챔버, 베이스 플레이트

N2 purge(선택 사양).

+ - 5% uniformity 보증

공정 setup 지원가능.

시스템은 connecting fitting이 달린 mechanical pump (14 cfm)가 기본포함됩니다

high frequency (13.56 MHz) or low frequency(40 KHz) power supply를 선택할수 있습니다..

선택사양: Down Stream Pressure Control, Turbo Pumping, Scrubber, Oil Filtration and Floor Model Cabinets.

Description

MODEL #       

12" Al. Chamber, w/2 AFC's , Low Freq. RF

PETS-PE-A12-2-LF    

12" Al. Chamber, w/4 AFC's , Low Freq. RF

PETS-PE-A12-4-LF    

12" SS Chamber, w/2 AFC's, Low Freq. RF

PETS-PE-SS12-2-LF

12" SS Chamber, w/4 AFC's , Low Freq. RF

PETS-PE-SS12-4-LF 

16" Al. Chamber, w/2 AFC's , Low Freq. RF

PETS-PE-A16-2-LF    

16" Al. Chamber, w/4 AFC's, Low Freq. RF

PETS-PE-A16-4-LF    

16" SS Chamber, w/2 AFC's, Low Freq. RF

PETS-PE-SS16-2-LF 

16" SS Chamber, w/4 AFC's, Low Freq. RF

PETS-PE-SS16-4-LF

12" Al. Chamber, w/2 AFC's , High Freq. RF

PETS-PE-A12-2-HF    

12" Al. Chamber, w/4 AFC's , High Freq. RF

PETS-PE-A12-4-HF    

12" SS Chamber, w/2 AFC's, High Freq. RF

PETS-PE-SS12-2-HF

12" SS Chamber, w/4 AFC's , High Freq. RF

PETS-PE-SS12-4-HF

16" Al. Chamber, w/2 AFC's , High Freq. RF

PETS-PE-A16-2-HF    

16" Al. Chamber, w/4 AFC's, High Freq. RF

PETS-PE-A16-4-HF    

16" SS Chamber, w/2 AFC's, High Freq. RF

PETS-PE-SS16-2-HF

16" SS Chamber, w/4 AFC's, High Freq. RF

PETS-PE-SS16-4-HF

JSiTS Inc.

Tel)031-479-4211~2 Fax)031-479-4213

  www.JSiTS.com www.4pointprobe.com

E-mail;    JSi@JSiTS.com