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Barrel ASHERS

 

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PETS Inc. Barrel Ashing System.(배럴 애슁 시스템)

배럴타입 애셔 또는 스트리핑 시스템은 보통 크리닝, 디스컴에 사용하나,
주로 한번에 다수의 웨이퍼의 포토레지스트를 제거하는 애슁에 사용합니다.
아이스트로픽 에칭에 사용할 경우 불 아이 패턴이 생길수 있습니다.

Key Benefits

컴퓨터로 제어하는 시스템으로서 런투런이 동일한 결과를 제공합니다

모든 자동 런에 대해서 데이터를 저장합니다.

무제한의 런 프로그램 저장(.rcp files).

챔버는 산화피막 알미늄이나 스텐레스 스틸에서 선택학수 있습니다.l.

수냉식 챔버

N2 purge(선택 사양).

공정 setup 지원.

시스템은 mechanical pump (14 cfm)와 connecting fitting이 기본입니다

high frequency (13.56 MHz) or low frequency(40 KHz) power supplie를 선택할수 있습니다..

선택사양: 다운스트림 압력 콘트롤, 스크러버, 오일 휠트레이션 및 Floor Model Cabinet.additional  및 추가의 AFC's

 

Description

MODEL #       

12" Al. Chamber, w/2 AFC's , Low Freq. RF

PETS-ASH-A12-2-LF    

12" Al. Chamber, w/4 AFC's , Low Freq. RF

PETS-ASH-A12-4-LF    

12" SS Chamber, w/2 AFC's, Low Freq. RF

PETS-ASH-SS12-2-LF

12" SS Chamber, w/4 AFC's , Low Freq. RF

PETS-ASH-SS12-4-LF 

16" Al. Chamber, w/2 AFC's , Low Freq. RF

PETS-ASH-A16-2-LF    

16" Al. Chamber, w/4 AFC's, Low Freq. RF

PETS-ASH-A16-4-LF    

16" SS Chamber, w/2 AFC's, Low Freq. RF

PETS-ASH-SS16-2-LF 

16" SS Chamber, w/4 AFC's, Low Freq. RF

PETS-ASH-SS16-4-LF

12" Al. Chamber, w/2 AFC's , High Freq. RF

PETS-ASH-A12-2-HF    

12" Al. Chamber, w/4 AFC's , High Freq. RF

PETS-ASH-A12-4-HF    

12" SS Chamber, w/2 AFC's, High Freq. RF

PETS-ASH-SS12-2-HF

12" SS Chamber, w/4 AFC's , High Freq. RF

PETS-ASH-SS12-4-HF

16" Al. Chamber, w/2 AFC's , High Freq. RF

PETS-ASH-A16-2-HF    

16" Al. Chamber, w/4 AFC's, High Freq. RF

PETS-ASH-A16-4-HF    

16" SS Chamber, w/2 AFC's, High Freq. RF

PETS-ASH-SS16-2-HF

16" SS Chamber, w/4 AFC's, High Freq. RF

PETS-ASH-SS16-4-HF

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