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PETS Inc.
Barrel Ashing System.(배럴 애슁 시스템)
배럴타입 애셔 또는 스트리핑 시스템은
보통 크리닝, 디스컴에 사용하나,
주로 한번에 다수의 웨이퍼의 포토레지스트를 제거하는 애슁에 사용합니다.
아이스트로픽 에칭에 사용할 경우 불 아이 패턴이 생길수 있습니다.
Key Benefits
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컴퓨터로 제어하는 시스템으로서
런투런이 동일한 결과를 제공합니다
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모든 자동 런에 대해서
데이터를 저장합니다.
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무제한의 런 프로그램
저장(.rcp files).
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챔버는 산화피막 알미늄이나
스텐레스 스틸에서 선택학수 있습니다.l.
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수냉식 챔버
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N2 purge(선택 사양).
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공정 setup 지원.
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시스템은 mechanical
pump (14 cfm)와 connecting fitting이 기본입니다
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high frequency (13.56
MHz) or low frequency(40 KHz) power supplie를 선택할수
있습니다..
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선택사양: 다운스트림
압력 콘트롤, 스크러버, 오일 휠트레이션 및 Floor Model
Cabinet.additional 및 추가의 AFC's
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Description |
MODEL # |
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12" Al. Chamber,
w/2 AFC's , Low Freq. RF |
PETS-ASH-A12-2-LF |
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12" Al. Chamber,
w/4 AFC's , Low Freq. RF |
PETS-ASH-A12-4-LF |
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12" SS Chamber,
w/2 AFC's, Low Freq. RF |
PETS-ASH-SS12-2-LF |
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12" SS Chamber,
w/4 AFC's , Low Freq. RF |
PETS-ASH-SS12-4-LF |
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16" Al. Chamber,
w/2 AFC's , Low Freq. RF |
PETS-ASH-A16-2-LF |
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16" Al. Chamber,
w/4 AFC's, Low Freq. RF |
PETS-ASH-A16-4-LF |
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16" SS Chamber,
w/2 AFC's, Low Freq. RF |
PETS-ASH-SS16-2-LF |
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16" SS Chamber,
w/4 AFC's, Low Freq. RF |
PETS-ASH-SS16-4-LF |
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12" Al. Chamber,
w/2 AFC's , High Freq. RF |
PETS-ASH-A12-2-HF |
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12" Al. Chamber,
w/4 AFC's , High Freq. RF |
PETS-ASH-A12-4-HF |
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12" SS Chamber,
w/2 AFC's, High Freq. RF |
PETS-ASH-SS12-2-HF |
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12" SS Chamber,
w/4 AFC's , High Freq. RF |
PETS-ASH-SS12-4-HF |
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16" Al. Chamber,
w/2 AFC's , High Freq. RF |
PETS-ASH-A16-2-HF |
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16" Al. Chamber,
w/4 AFC's, High Freq. RF |
PETS-ASH-A16-4-HF |
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16" SS Chamber,
w/2 AFC's, High Freq. RF |
PETS-ASH-SS16-2-HF |
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16" SS Chamber,
w/4 AFC's, High Freq. RF |
PETS-ASH-SS16-4-HF
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