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RIE ETCH

 

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Reactive Ion Etching 시스템은 보통 크리닝, 디스컴등에 사용을 하며, 여러종류의 필름(전도성, 유전성)을 에칭합니다.사이드 월은 언아이스트로픽합니다.

Key Benefits

컴퓨터로 제어하는 시스템으로서 런투런이 동일한 결과를 제공합니다.

모든 자동 런에 대해서 데이터를 저장합니다

무제한의 런 프로그램 저장(.rcp files

챔버는 산화피막 알미늄이나 스텐레스 스틸에서 선택학수 있습니다.

수냉식 전극, 챔버, 베이스 플레이트

Aluminum Oxide (ceramic) 인슐레이터.

N2 purge(선택 사양).

+ - 5% uniformity .

공정 setup 지원.

시스템은 mechanical pump (14 cfm)와 connecting fitting이 기본입니다..

high frequency (13.56 MHz) or low frequency(40 KHz) power supplie를 선택할수 있습니다...

선택사양: 다운스트림 압력 콘트롤, 터보 펌프, 스크러버, 오일 휠트레이션 및 Floor Model Cabinet.additional  및 추가의 AFC's

Description

MODEL #       

12" Al. Chamber, w/2 AFC's , Low Freq. RF

PETS-RIE-A12-2-LF    

12" Al. Chamber, w/4 AFC's , Low Freq. RF

PETS-RIE-A12-4-LF    

12" SS Chamber, w/2 AFC's, Low Freq. RF

PETS-RIE-SS12-2-LF

12" SS Chamber, w/4 AFC's , Low Freq. RF

PETS-RIE-SS12-4-LF 

16" Al. Chamber, w/2 AFC's , Low Freq. RF

PETS-RIE-A16-2-LF    

16" Al. Chamber, w/4 AFC's, Low Freq. RF

PETS-RIE-A16-4-LF    

16" SS Chamber, w/2 AFC's, Low Freq. RF

PETS-RIE-SS16-2-LF 

16" SS Chamber, w/4 AFC's, Low Freq. RF

PETS-RIE-SS16-4-LF

12" Al. Chamber, w/2 AFC's , High Freq. RF

PETS-RIE-A12-2-HF    

12" Al. Chamber, w/4 AFC's , High Freq. RF

PETS-RIE-A12-4-HF    

12" SS Chamber, w/2 AFC's, High Freq. RF

PETS-RIE-SS12-2-HF

12" SS Chamber, w/4 AFC's , High Freq. RF

PETS-RIE-SS12-4-HF

16" Al. Chamber, w/2 AFC's , High Freq. RF

PETS-RIE-A16-2-HF    

16" Al. Chamber, w/4 AFC's, High Freq. RF

PETS-RIE-A16-4-HF    

16" SS Chamber, w/2 AFC's, High Freq. RF

PETS-RIE-SS16-2-HF

16" SS Chamber, w/4 AFC's, High Freq. RF

PETS-RIE-SS16-4-HF

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