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■ Micron unit Depth & Height Measuring-Scope-"Hallogen
Light" Type
- 두개의 슬릿이 장착되어있고 슬릿사이로 투과된 할로겐 빛에 의해 정확한 위치및 조명상태를 잡을수있어 빚전문가라도
정확한 측정 작업이 용이함.
-웨이퍼나, 글래스 표면의 조도가 선형으로 모니터상에 나타남,
-비접촉식으로 시료의 표면이 훼손될 우려나 침압을 조절해줄 필요가 엇음.
- 3개의 할로겐 램프의 컴비네이션으로 Projection-slit, vertical-illumination ,standard-slit
illumination 이 변경된다.
- 최적의 할로겐 조명시스템 3 lamps.
- 큰 시료까지 측정 가능한 시료대.
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■ SPECIFICATIONS(사양)
- Optical system :수직 방향 image,
10× 아이피스 45˚ 경사(monocular or binocular)
- Mmagnification :100×Objective
lenz, 10×Objective lenz as Standard (5×,15×,and 20×as option)
- Standard slit : 2 parallel lines
as Standard (Optional Centerless Cross)
- Projection slit :10 Micron(暗視野)
as Standard,
............................Option :
10 micron Half-mirror type
optionally 3 Micron (暗視野),
.......................30 Micron (暗視野),
....................... 80 Micron (暗視野)
- Illumination :3 halogen illuminators
and 3 fiber optic guides
- Focusing mechanism : Rough movement
: 100mm travel by main column and screw
........................................
Fine movement : 2.0mm travel
- XY 테이블 :50×50mm travel, micrometer
: 10㎛ reading, digital : 1㎛ reading
-Dimension : 450mm×500mm×50mm(SB
type base)
- Monitor equipment :Monochrome:9
inch or Colour:14 inch
- Z axis measurement :Digital : 1㎛ reading
other Option : printer for recording
available
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