SPIN150 스핀코터                          Spincoater Main

Single Substrate Spin Processor:

SPIN150i-NPP

   

-투명한 안전덮게, 센터홀.

-시료사이즈: ~ Ø160mm (or 6”) or 4"x4"

-하우징 재질 :NPP (옵션:PTFE-Teflon)

옵션 :

  1. In-Deck NPP :키보드 분리형 :글로브박스내 설치시 유용 Optional
  2. In-Deck PTFE(테플론) :Optional

사양:

  • -Chemical Resistant Bowl : Natural Poly Propylene

    - 속도 : 0-12,000 rpm
    - 타임 : 0.1-99999 sec/step
    - 무한메모리 - 무한 steps
    - Accuracy : 0.1RPM : 고신뢰성 독일제 DC 서보 모터 장착
    - 회전방향 변경 가능 (CW, CCW, puddling)
    - 컬러 터치스크린 : 쉽고 간편한 입력방식
    - N2 퍼지포트 :Nitrogen diffuser, etc.N2 Purge :N2 퍼지시 보다 균일한 코팅 막 도포에 유리 :Air Tubulance 감소 효과...
    - Acceleration / Deceleration 1-30,000rpm/sec,     Ramp UP Down
    - Drain Port

    - Vacuum On/Off
    - 3 Programmable Dry Contacts: e.g. for automated control of Dispense unit,


    - Structured and password protected recipe

    - 고정밀 독일제 DC서보 모터 장착 최고의 Coating Thickness Uniformaty 실현 가능

    -치수 : 274mm(W) x 250mm(H) x 451mm(D) , 280 (d) mm (keyboard detached) 14 kgs

    -옵션으로 자동 디스펜스 선택 가능

  • Standard included:
    (1) standard - Vacuum Chuck A-V36-S45-PP-HD, Ø45mm for up to Ø6“ wafers.

  • Optional
    (1) D-V10-S50-PP, Small Fragment Adapter
    (for Ø ½“- Ø 2’’ Pieces and Fragments optional) (Alternative chucks optionally available)
    - Drain connection 1” male NPT (Exhaust Hose optionally available

척 &어댑터:

  • 베큠척 A-V36-S45-PP (포함)
  • 프래그먼트 어댑터 D-V10-S50-PP up to Ø150mm (optional)
  • 스몰 프래그먼트 어댑터 D-V2.5-S50-PP (optional)
  • 베큠척 추가주문가능 (optional)

용도:

Coating, Etching, Cleaning, Drying, Developing

PICTURE IN-DECK 모델:
용도:글로브박스 내 설치,콘트롤패널 분리설치 필요시 유용

 

spin150i 카탈로그